適用於光阻塗佈系統的懸浮式解決方案

CoreFlow 是基於氣動機械的先進處理和傳送解決方案的領先供應商,提供一流的非接觸式處理系統,用於彩色濾光片和 TFT 陣列製造的 FPD 光阻塗佈(狹縫式塗佈)應用。CoreFlow 系統適用於 LCD 和 OLED 平面顯示器的光阻塗佈工藝,已安裝於多家世界領先的 FPD 加工廠。CoreFlow 的狹縫式塗佈懸浮載台可在加工區實現卓越的 ±5 μm 氣隙精度,為玻璃基板處理提供無與倫比的可靠性。
因此,塗佈品質得以顯著提高。該系統獨特的 SmartNozzle™ 技術提供所需的氣浮挺性,確保氣隙精度和穩定性。

Slit Coater System

懸浮式系統被設計成單一、無縫的載台,可處理任何尺寸的玻璃基板,確保獲得平滑、一致的基板塗層,並防止出現非均勻效應。

 

主要特性及優勢

  • ±5 μm(最高 ±2 μm)氣隙精度
  • 獲得一致的塗層,無任何接縫線
  • 加工區的標稱氣隙: 30 ±5µm
  • 適用於 FPD 塗佈應用的成熟處理系統,無論基板尺寸、厚度如何
  • 較低的空氣消耗量(壓力和真空)可節省能源成本
  • 耐用表面可防止因劃痕、灰塵和液體造成的損壞
  • 極少的活動部件(傳輸系統),可降低維護成本

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