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創新處理解決方案,加速優化性能並提高品質和良率

平面顯示器 (FPD) 市場

平面顯示器是指輕薄的顯示螢幕,用於筆記型電腦、顯示器、電視機、智慧型手機、數位相機和其他可攜裝置。平面顯示器的尺寸要求根據其所安裝的終端裝置而異。隨著更多基於創新技術的解決方案的推出,在大多數消費和工業顯示系統中都能看到平面顯示器的身影。

如今,平面顯示器大多採用 LCD(液晶顯示器)技術,但近幾年來,有機發光二極體顯示器 (OLED) 技術的使用表現出強勁的發展趨勢。OLED 顯示器不僅比 LCD 顯示器更薄、更高效,還能提供卓越的圖像品質,並且可以做到透明、柔性、可折疊、可滾動和可拉伸。

在最終使用者對提高產品品質和降低成本的需求的推動下,FPD 製造商一直在尋找更好的工藝和製造自動化設備。此外,更大(G8 到 G11)、更薄的玻璃 (<0.4mm) 基板處理起來更複雜,不斷為設備製造商帶來精度和處理挑戰。

CoreFlow 透過提供高性能懸浮式解決方案解決了這些挑戰,這些解決方案能夠以最大的可靠性、精確的 Z 軸定位、基板平整度以及最低的維護要求處理和輸送任何尺寸和重量的玻璃基板。我們的解決方案已被全球多家領先加工廠所使用。

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半導體工業

半導體器件是幾乎所有電子產品的心臟。這些器件依賴於半導體材料的電子特性。它們既可以作為單個分立元件,也可以作為集成了數百萬甚至數十億個晶體管 (!) 的集成電路進行製造,在單個半導體晶圓(也稱為基板)上製造和互連。對於以更精密設計、更低的能耗提供更強計算能力和更大內存的需求越來越高,這推動了晶圓製造工藝達到極限。對工藝清潔度的敏感性增加,並需要盡可能減少微粒產生,而對更薄基板的追求則導致了翹曲程度增加,並在晶圓處理方面帶來了新的挑戰。

CoreFlow 透過提供可在沒有任何接觸的情況下處理半導體晶圓的非接觸夾盤,以及專門設計用於處理翹曲和/或異形晶圓的單源多道獨立真空 (Selective Vacuum) 產品,解決了這些挑戰。

CoreFlow 的非接觸和單源多道獨立真空 (Selective Vacuum) 產品已被三大洲的主要半導體設備製造商所採用。

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