エアクッションテクノロジー

CoreFlowは、その主要テクノロジーであるスマートノズル<5>TM</5>に基づいて、FPD、半導体、およびその他の業界における基板処理の最も厳しい要件に対応する一連の高度な航空機械空気力学ソリューションを開発しました。

• 大気圧（PA）
• 圧力真空（PV）

大気圧（PA）エアークッション

大気圧（PA）構成は、 SmartNozzle<11>TM</11> の圧力と大気圧の排出穴を組み合わせて、あらゆる測定または重量のガラス基板に均一で堅牢なエアークッションサポートを提供。このエアークッション構成、フラットパネルディスプレイの生産、ファブの自動化、およびプロセス機器のロード/アンロードゾーンでの非接触モーションシステムに最適です。.

PAの主な特徴は次のとおりです。

• 低圧供給（80-350 mbar）大気放出穴
• 空気の典型的なギャップ： 150-500 µm

圧力バキューム（PV）エアークッション

あの圧力バキューム（PV）構成により、高レベルのエアギャップ精度が提供され、基板の正確な位置決めと平坦化が保証されます。PVの空気機械的表面は、強力な双方向のクランプと平坦化を提供し、FPD、半導体、デジタル印刷、およびその他の業界で正確なプロセスゾーンとメディアの平坦化を必要とするシステムに最適です。

PVの主な特徴は次のとおりです。

• 空気の典型的なギャップ： ~30 µm
• 典型的なエアギャップ精度： ± 5µm.
• 強化されたシステムエアギャップ精度：最大:  ±2µm