フォトレジストコーティングシステム用のエアフローティングソリューション

高度な航空機械ベースのハンドリングおよび搬送ソリューションの大手プロバイダーであるCoreFlowは、カラーフィルターおよびTFTアレイ製造用のFPDフォトレジストコーティング（スリットコーティング）アプリケーションで使用されるコンタクトシステムの高度な非接触ハンドリングハンドリングを提供します。

LCDおよびOLEDフラットパネルディスプレイのコーティングプロセスに適したCoreFlowシステムは、世界をリードするいくつかのFPD製造工場に設置されています。
CoreFlowのスリットコーティングエアフローティングステージは、プロセスゾーンで卓越した±5μmのエアギャップ精度を実現し、ガラス基板の取り扱いに比類のない信頼性を提供します。その結果、コーティングの品質が大幅に向上します。SmartNozzle™テクノロジーの独自のシステムは、エアギャップの精度と安定性を確保するために必要なエアクッション剛性を提供します。

空気システムは、あらゆるガラス基板サイズに対応する単一のシームレスなステージとして設計されており、滑らかで一貫した基板コーティングを保証し、村の影響を防ぎます。

主な機能と利点 :

• ±5μmのエアギャップ精度（最大±2μm）
• シームラインなしで一貫したコーティングを可能にします
• プロセスゾーンでの公称エアギャップ： 30 ±5µm
• FPDコーティングアプリケーション向けの実績のあるハンドリングシステム–あらゆるサイズ、あらゆる厚さの基材
• 低い空気消費量（圧力と真空）レベルはエネルギーコストを節約します
• 耐久性のある表面は、引っかき傷、ほこり、および液体による損傷に耐性があります
• 可動部品が非常に少ない（モーションシステム）-メンテナンスコストを削減