欠陥検査（AOI）システム用のエアフローティングソリューション

CoreFlowは、最先端のG10ステージを含む世界中に数百の設備を備えており、FPD自動光学検査（AOI）アプリケーション向けの実績のあるクラス最高のエアフローティングソリューションを提供します。CoreFlowの処理プラットフォームはAOIシステムに統合されており、ガラス基板の一貫した信頼性の高い処理を提供し、最高の精度でポスティングを行います。

非接触の空気力学ステージは、CoreFlow独自のエアクッションとスマートノズル™テクノロジーを利用して、最大±5μmの高精度の垂直位置を維持しながら、基板の剛性と平坦性を確保します。

CoreFlowのソリューションは、検査ゾーンの高精度のPVステージに接続された、シンプルな空気圧設計のリジッドレールエアバー構造を採用しています。

PVステージはスキャンラインの両側に配置されており、検査エリアとスキャンラインのバックライトの上に高精度のエアギャップを提供します。このステージの構成により、迅速な実装が可能になり、全体的な平坦性が向上すると同時に、低質量流量が利用されるため、エネルギーコストが削減されます。

主な機能と利点

• 最適なエアギャップ精度と均一な平坦性
• 検査システム全体にわたる信頼できるパフォーマンス
• カスタマイズされたエアバーは、あらゆるサイズのガラス基板をサポートし、次のことが可能になります :
  • 最小数の圧力および真空接続
  • 調整スプリングの数が少ない
  • システムの基本構造へのシンプルなインターフェース
• 低い空気消費量（圧力と真空）レベルはエネルギーコストを節約します
• 耐久性のある表面は、引っかき傷、ほこり、および液体による損傷に耐性があります
• 可動部品が非常に少ない（モーションシステム）-メンテナンスコストを削減