真空轮运动系统 (V-Wheels)

CoreFlow 的真空轮运动系统可实现快速、准确的基板输送，並保持與基板表面最少接触。真空轮可产生真空，牢牢抓住基板的边缘，并将其快速送去加工，从而提高制造良率。该系统经过设计可输送任何尺寸的基板，厚度从 0.2 mm 到 0.5 mm 不等。

真空施加于基板的无效区（距离基板边缘 10 mm）。

主要特性和优势：

• 高加速率和高达 1.5 m/sec 的传送速度，可提高生产水平
• 通过精准输送加快制造过程并减少错误
• 设计用于处理薄至 0.2 mm 的玻璃基板
• 输送任何尺寸的大型基板
• 集成到现有的生产线中 

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